建设单位名称

南昌中微半导体设备有限公司

联系人

于峰

地理位置

江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥大道699号兆和光电科技园

项目名称

南昌中微半导体设备有限公司年产200台MOCVD设备项目

项目简介

MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)设备，即金属有机物化学气相沉积设备，是化合物半导体体外延材料研究和生产的关键设备，特别适合化合物半导体功能结构材料的规模化工业生产，是制备氮化镓基发光二极管和激光器外延片的关键设备，同时也是制备砷化镓、磷化铟等光电子材料和器件的主流设备，是其他半导体设备所无法替代的核心半导体设备，是当今世界上生产半导体光电器件和微波器件材料的主流设备，是当今信息产业发不可缺少的战略性高技术半导体设备。

中微公司正在开发MOCVD是生产LED芯片最核心的设备，占生产线设备投资60%以上。LED芯片受电视背光源和半导体照明需求驱动，对MOCVD设备的需求持续攀升。中国是最大的MOCVD市场，约占全球市场的40%，但生产用MOCVD产品被德国Aixtron公司(德国爱思强)和美国Veeco公司(美国维易科)两家厂商垄断，生产MOCVD设备占据了全球90%以上的市场份额。

目前中微公司的MOCVD设备已在国内领先的生产线上进行大规模量产，它们是全球大部分LED芯片的生产制造商，包括三安光电和华灿光电。

项目负责人

谭松

报告编制人

谭松、杨昇、彭少波、姚东阳

现场调查人员

杨昇、谭松

建设单位陪同人员

于峰

时间

2019.08.2

采样人员

杨昇、谭松

时间

2019.08.12-2019.08.14

检测人员

实验室人员

时间

2019.08.12-2019.08.14

建设项目存在的职业病危害因素及检测结果

通过工程分析、资料查询并结合本项目各作业岗位职业病危害接触程度、接触方式、使用量及危害因素危害性等因素综合分析，确定本项目存在的主要职业病危害因素为：工频电场等职业病危害因素。

所检测点项目的职业病危害因素强度均符合《工作场所有害因素职业接触限值   第2部分：物理因素》(GBZ 2.2-2007)、《工业企业设计卫生标准》(GBZ1-2010)、《建筑照明设计标准》(GB50034-2013)的要求。

评价结论

与建议

结论：

本项目生产过程中可能存在的主要职业病危害因素有工频电场等职业病危害因素。

根据《国家安全监管总局关于公布建设项目职业病危害风险分类管理目录（2012年版）的通知》（安监总安健〔2012〕73号）规定，确定本项目行业分类为专用设备制造(电子工业专用设备制造)，根据行业分类，为“职业病危害较重的建设项目”，但结合本项目仅涉及专用设备各部件的组装和测试特性，不涉及设备及各部件生产的特点，且不使用化学用品及试剂，作业强度较低，产生的物理危害因素较低，故将职业危害项目种类进行降级，确定本项目为“职业病危害一般的建设项目”。

建议：

（1）针对噪声危害治理的建议

（2）针对职业卫生管理的建议

（3）持续改进性建议

（4）预防性告知

专家组评审

意见

2019年08月28日，江南昌中微半导体设备有限公司在南昌市召开评审会议，会议邀请金莉、祝刚、陈绍寿3位位职业卫生专家组成评审组。专家组评审意见如下：

（一）建设项目概况清晰；

（二）《评价报告》对职业病防护设施设计执行情况分析、评价全面；

（三）《评价报告》对职业病防护设施检测和运行情况分析、评价清晰；

（四）《评价报告》工作场所职业病危害因素检测分析、评价正确；

（五）《评价报告》对工作场所职业病危害因素日常监测情况分析、评价正确；

（六）《评价报告》对职业病危害因素对劳动者健康危害程度分析、评价正确；

（七）《评价报告》对职业病危害防治管理措施分析、评价合理；

（八）《评价报告》对职业健康监护状况分析、评价正确；

（九）《评价报告》对职业病危害事故应急救援和控制措施分析、评价基本正确；

（十）《评价报告》对正常生产后建设项目职业病防治效果预期分析、评价正确；

（十一）《评价报告》提出的职业病危害防护补充措施及建议合理；

（十二）评价结论正确。

（十三）《评价报告》修改建议：

（1）完善生产工艺先进性说明；

（2）细化洁净生产区通风参数分析；

（3）评审、验收组提出的其他意见。